八氟環(huán)丁烷的純化技術(shù)研究進(jìn)展
作者：繆光武; 張金柯; 白占旗; 何雙材; 胡欣; 曾群; 杜肖賓; 劉武燦; 張波 浙江省化工研究院有限公司; 浙江杭州310023
摘要：隨著電子工業(yè)的迅速發(fā)展,八氟環(huán)丁烷作為常用的半導(dǎo)體工藝蝕刻或清洗氣體,其需求量日益增加,對其純度要求也越來越苛刻?？偨Y(jié)了現(xiàn)有應(yīng)用最為廣泛的四種八氟環(huán)丁烷純化技術(shù):精餾技術(shù)、吸附技術(shù)、化學(xué)轉(zhuǎn)化法、膜分離技術(shù),分析四種純化技術(shù)各自優(yōu)缺點。在實際生產(chǎn)中,根據(jù)八氟環(huán)丁烷中所含雜質(zhì)的種類,選擇合適純化技術(shù)聯(lián)用來獲得高純八氟環(huán)丁烷。此外,應(yīng)不斷開發(fā)新型、高效電子氣體純化技術(shù),促進(jìn)我國電子氣體行業(yè)的發(fā)展。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社。
低溫與特氣雜志
低溫與特氣雜志， 雙月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：綜述評論、研究與開發(fā)、低溫與制冷、工藝與設(shè)備、特氣制備、分析與測試、安全技術(shù)等。于1983年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
- 部級期刊
- 1個月內(nèi)審核
