馬赫曾德雙成像的鏡面材料內(nèi)部缺陷檢測系統(tǒng)
作者：鐘詩民; 孫方圓; 陳維杰; 吳雙樂; 王永紅 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院; 合肥230009
摘要：針對傳統(tǒng)剪切散斑干涉技術(shù)只能測量粗糙表面,無法直接測量鏡面物體的缺陷,提出了一種改進(jìn)的剪切成像裝置,利用被測物表面反射由激光經(jīng)毛玻璃組擴(kuò)束后產(chǎn)生的散斑來實(shí)現(xiàn)鏡面物體缺陷檢測;同時(shí)采用雙成像的馬赫曾德干涉系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)剪切量與載波頻率的獨(dú)立調(diào)整,擴(kuò)大有效測量區(qū)域.對8k鏡面板采用頂針加載的方式,對預(yù)置缺陷的鏡面表面材料采用熱加載的方式,進(jìn)行缺陷檢測.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:該方法檢測出的缺陷分布與加載方式、預(yù)置缺陷的分布基本保持一致,可實(shí)現(xiàn)對鏡面材料內(nèi)部缺陷的快速動(dòng)態(tài)檢測.
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光子學(xué)報(bào)雜志
光子學(xué)報(bào)雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：儀器，測量，度量學(xué)、光纖光學(xué)與光通信、激光與激光光學(xué)、光譜學(xué)、成像系統(tǒng)、探測器、圖像處理、傅里葉光學(xué)與信號處理等。于1972年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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