摘要：配合間隙是決定球型慣性器件精度和可靠性的關(guān)鍵參數(shù)之一,針對(duì)球型慣性器球面元件表面有缺口且未完全拋光導(dǎo)致曲率半徑難以精確測(cè)量,進(jìn)而難以準(zhǔn)確控制球碗、球冠配合間隙瓶頸問題,提出了一種球面慣性元件配合間隙激光差動(dòng)共焦高精度方法。該方法利用抗散射的激光差動(dòng)共焦曲率半徑測(cè)量方法分別對(duì)球碗、球冠的曲率半徑進(jìn)行測(cè)量,然后利用差動(dòng)共焦曲率半徑測(cè)量系統(tǒng)測(cè)得的球碗和球冠的半徑差來控制球型慣性器球面的配合間隙。理論分析與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證表明:該方法測(cè)量球冠和球碗配合間隙的相對(duì)擴(kuò)展不確定度優(yōu)于20×10^-6,其為慣性器件球冠和球碗配合間隙的高精度測(cè)量與控制提供了一種全新的技術(shù)手段。